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等离子水洗尾气处理设备（WLU-HW-KS-NM-2024-0696）采购公告
浙江 杭州
采购公告
  发布单位： 火标网  发布日期： 2024-06-11 17:54:25
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咨询此项目热线：17696581266
详情内容
项目名称1 等离子水洗尾气处理设备 项目编号 ***-**-**-**-****-****
公示开始日期 ****-**-** **:**:** 公示截止日期 ****-**-** **:**:**
采购单位 西湖大学 付款方式 内贸部分：货到验收合格后付全款
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
到货时间要求 内贸部分：****年*月**日前 预算总价 ￥ ******
收货地址 云谷校区
供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ; 原厂授权书/制造商声明函 (必选) ; 被授权人社保缴纳证明 (近*个月) (必选) ; 法定代表人资格证明书 (联系人须与法定代表人一致)/投标授权委托书(联系人须与被授权人一致) (必选)
采购清单 *
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类
等离子水洗尾气处理设备 * 台
品牌
规格型号
预算 ￥ ******
技术参数 设备名称：等离子水洗尾气处理设备 主要技术要求 要求等离子水洗尾气处理设备能处理刻蚀(化合物刻蚀、金属刻蚀、低温刻蚀)、*****、***、***、***产生的特殊有害气体，设备利用高温等离子作为热源，通过高温等离子体的氧化、还原、裂解作用，将有害气体转化为无害或易于处理的物质，然后通过水洗步骤进一步清除残余污染物。有效处理各有害特殊气体。 *) 要求多口工艺尾气进口，能够处理多种不同的废气流， *) 确保在半导体行业中的适用性和安全性， *) 对于全氟化合物类气体具有优秀的处理效果。 *) 能与我校现有的一台等离子尾气处理器进行主用、备用切换的通信切换能力(平时备机处理待机状态，当主用机台出现自身问题时，备用机台可接收主用机台信号不间断接替工作)，此项通信信号的接入和控制调试有等离子水洗尾气设备提供商负责。 *) 提供为接入****(厂务监控系统)提供信号端口、及****对设备状态(特别是报警状态)的监控， *) 现有电源条件为*-***** ********，其他电源由设备供应商配置相应的变压器供接入。 *.*.* ***** ********废气处理能力大于******，气体处理效率≥**%，尾气经过********处理后需达到无毒无害符合环境保护排放要求。 *.*.* 每台***** ********要有六个进气接口，接口尺寸为**** ******，且进气接口管路必须用金属闷板、卡箍密封，不允许管路未密封处理直接暴露于大气中。 *.*.* 每台***** ********有*个酸性排气接口，酸性排气管路含有******涂层，接口尺寸为******。 *.*.* 每台***** ********使用**** *****和***。接口为*/*”********，配有相应的**** *****和***压力报警，一旦发生报警会进行相应的连锁通断。 *.*.* 每台***** ********使用***，接口为*/*”********，配有相应的***压力报警，一旦发生报警会进行相应的连锁通断，且***仅作为驱动作用，不作为反应腔助燃气体。 *.*.* 每台***** ********使用**，接口为*/*” ********，配有相应的**压力报警，一旦发生报警会进行相应的连锁通断。 *.*.* 每台***** ********配有*个热排接口。 *.*.* ***** ********具有高精度逻辑控制系统，电路布局简洁，方便故障查找排除，并有风冷系统，电气部分保持适当的工作温度。 *.*.* ***** ********具有烟感报警装置，烟感报警时能自动切断相关连锁(加热、***等)，且需要有灭火装置。 *.*.** ***** ********具有管路自动******功能，一旦发生进气压力报警能够自动打开旁通管路排气，防止堵塞跳泵。 *.*.** ***** ********具有人性化操作界面，能够显示********各项状态参数并进行手动操作。 *.*.** ***** ********显示实时的报警信息，并提供报警记录查询。 *.*.** ***** ********具有进气口以及排气口压力表，监控进气压力、排气压力，具有压力报警功能并及时切断吹洗气体。 *.*.** ***** ********具有液位监测******，设备内部四周都需要有漏液检测带而并非漏液监测点，并具有液位过低切断洒水泵运转及液位过高及时切断进水避免产生漏液或压力故障。 *.*.** ***** ********具有完善的***** ********、***、******、**** ******，水压水位等报警功能和中断装置。 *.*.** ***** ********压力，能设定报警值，并能在不影响工艺机台设备的情况下，具有对********进气口压力故障进行处理的装置，易于操作。 *.*.** ***** ********具有采用*****的***声光报警信号装置，在********发生故障时及时报警。 *.*.** ***** ********具有喷淋洒水系统，所用喷淋水泵具有较好的通用性及替代性。 *.*.** ***** ********要在进、出气口处留有测试效率的测试孔，并提供去除效率的测试报告。 *.*.** ***** ********有排水泵，具有自动排水系统，所用排水泵扬程≥***，具有较好的通用性及替代性。 *.*.** ***** ******** 所使用的泵需要是循环抽水一体的立式泵。 *.*.** ***** ******** 水箱需要采用多重墙隔结构，可以尽可能阻止粉末等异物堵塞泵、影响液位传感器的问题，且水箱侧面需要有透明视窗，便于观察与清理水箱。
售后服务 质保期:*年;商品承诺:质保期后，只收取零配件费，不收取人工费;


西湖大学


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项目官方指定标书制作单位：17696581266
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