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南京理工大学2024年7月政府采购意向

江苏南京

政府采购

200.0万元

 发布单位：火标网  发布日期： 2024-06-25 16:02:08

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南京理工大学2024年7月政府采购意向

项目名称:	微电子学院电子束蒸镀设备采购	品目	其他电工电子专用生产设备
公告时间:	********	预算金额:	*.****万元(人民币)
采购单位	南京理工大学	采购时间	******

采购需求：

电子束蒸镀设备，1套。主要参数包括，电子束蒸镀主系统：1、工件台尺寸：圆形工件台，直径6英寸；2、装载量：可装载一个6英寸样品或更小尺寸样品；3、工件台降温：工件台可通水冷却，保证工艺温度不高于80℃；4、工作台转速：0至20转/分钟可调；5、电子枪功率：6千瓦；6、坩埚数量：4*15CC；7、极限真空：优于1E-5Pa；8、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟；9、漏率：优于6E- 登录后查看；10、最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm；11、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa；12、晶振控制器，速率0.1~1 nm可调，速率精度0.01 nm/s；13、镀膜均匀性：直6英寸范围内均匀性优于±2%；14、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%；磁控溅射辅助模块：15、工件台尺寸：圆形工件台，直径4英寸；16、装载量：可装载一个4英寸样品或更小尺寸样品；17、工件台加热：工件台最高加热温度为200℃，温度控制精度为±0.1℃；18、工作台转速：0至20转/分钟可调；19、直流溅射电源：1*500W；20、射频溅射电源：1*300W；21、靶枪：3*2英寸；22、极限真空：优于1E-5Pa；23、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟；24、漏率：优于6E- 登录后查看；25、最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm；26、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa，工艺压力测量精度≤0.01mTorr；27、镀膜均匀性：直4英寸范围内均匀性优于±2%；28、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%28、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%

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